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经营范围
发明名称
EPITAXIAL GROWTH SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH03280537(A)
申请公布日期
1991.12.11
申请号
JP19900082047
申请日期
1990.03.29
申请人
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD
发明人
TATE NAOTO;TAKAOKA MAKOTO
分类号
H01L21/20;H01L21/304
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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