| 发明名称 |
THIN-FILM SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03278470(A) |
申请公布日期 |
1991.12.10 |
| 申请号 |
JP19900078402 |
申请日期 |
1990.03.27 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
TAKEDA SHINICHI;YAMANOBE MASATO |
| 分类号 |
G02F1/136;G02F1/1368;G09F9/30;H01L27/146;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
G02F1/136 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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