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发明名称 DIFFUSION TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03278522(A) 申请公布日期 1991.12.10
申请号 JP19900079882 申请日期 1990.03.28
申请人 NEC CORP 发明人 YAMASHITA HIROMI
分类号 H01L21/31;H01L21/22 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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