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发明名称 METHOD FOR SUBJECTING AN OBJECT TO A LIQUID TREATMENT
摘要
申请公布号 US5071488(A) 申请公布日期 1991.12.10
申请号 US19900560405 申请日期 1990.07.31
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 TAKAYAMA, MICHIO;HAYAKAWA, AKIHIKO
分类号 B08B3/04;B08B3/10;C23G3/00;H01L21/304;H01L21/306 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
主权项
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