发明名称 METHOD FOR PRODUCING A SILICON THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 US5071779(A) 申请公布日期 1991.12.10
申请号 US19900494037 申请日期 1990.03.15
申请人 SEIKOSHA CO., LTD.;NIPPON PRECISION CIRCUITS LTD. 发明人 TANAKA, SAKAE;WATANABE, YOSHIAKI;SHIRAI, KATSUO;OGIWARA, YOSHIHISA
分类号 H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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