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发明名称 DRY ETCHING
摘要
申请公布号 JPH03278433(A) 申请公布日期 1991.12.10
申请号 JP19900076603 申请日期 1990.03.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OIWA NORIHISA;OKANO HARUO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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