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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03278454(A) 申请公布日期 1991.12.10
申请号 JP19900003443 申请日期 1990.01.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 ONOZAWA KAZUNORI
分类号 H01L21/8238;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/092 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
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