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发明名称 VACUUM PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03279680(A) 申请公布日期 1991.12.10
申请号 JP19900078097 申请日期 1990.03.27
申请人 NEC CORP 发明人 HIRAMATSU SHINICHI
分类号 F04B37/16;B01J3/00;C23C14/54;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 F04B37/16
代理机构 代理人
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