发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 US5072287(A) 申请公布日期 1991.12.10
申请号 US19910643087 申请日期 1991.01.22
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 NAKAGAWA, AKIO;FURUKAWA, KAZUYOSHI;OGURA, TSUNEO
分类号 H01L21/76;H01L21/761;H01L21/762;H01L21/763;H01L21/8222;H01L21/8234;H01L27/06;H01L27/08;H01L27/088;H01L27/12;H01L29/739;H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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