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经营范围
发明名称
THIN FILM FORMATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03279292(A)
申请公布日期
1991.12.10
申请号
JP19900078802
申请日期
1990.03.29
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
SUDO MASAAKI
分类号
C30B23/08;H01L21/203
主分类号
C30B23/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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