发明名称 ULTRAVIOLET-RAY IRRADIATION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03278861(A) 申请公布日期 1991.12.10
申请号 JP19900082299 申请日期 1990.03.29
申请人 TOSHIBA LIGHTING & TECHNOL CORP 发明人 FUCHIWAKI TSUTOMU;MIWA HIROYUKI;KAWANAMI TAKASHI;TACHIHARA AKIO
分类号 B05D3/06;H01L21/027;H05K3/28 主分类号 B05D3/06
代理机构 代理人
主权项
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