发明名称 MANUFACTURE OF MES FIELD-EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH03278528(A) 申请公布日期 1991.12.10
申请号 JP19900079141 申请日期 1990.03.28
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 NAGAMACHI SHINJI;YAMAKAGE YASUHIRO
分类号 H01L29/812;H01L21/285;H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
地址