| 发明名称 |
FORMATION OF THIN HIGHLY FUNCTIONAL FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03277768(A) |
申请公布日期 |
1991.12.09 |
| 申请号 |
JP19900255724 |
申请日期 |
1990.09.25 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
KIYAMA SEIICHI;HIRANO HITOSHI;ONCHI MASAO |
| 分类号 |
C23C14/22;C23C14/24;C23C14/48 |
主分类号 |
C23C14/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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