发明名称 METHOD FOR MONITORING DIAMETER OF SINGLE CRYSTAL IN PULLING-UP SINGLE CRYSTAL AND AUTOMATICALLY CONTROLLING METHOD FOR DIAMETER
摘要
申请公布号 JPH03275588(A) 申请公布日期 1991.12.06
申请号 JP19900074778 申请日期 1990.03.23
申请人 JAPAN STEEL WORKS LTD:THE 发明人 FUJISAWA YOSHITAKA;INAMI TOSHIO;OGASAWARA MAKOTO
分类号 C30B15/28 主分类号 C30B15/28
代理机构 代理人
主权项
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