发明名称 |
MODULATING METHOD FOR RELATIVISTIC ELECTRON BEAM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03276537(A) |
申请公布日期 |
1991.12.06 |
申请号 |
JP19900076311 |
申请日期 |
1990.03.26 |
申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
TAKEMURA YASUHIKO |
分类号 |
G21K1/00;H01J23/06;H01J37/06;H01J37/30 |
主分类号 |
G21K1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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