| 发明名称 |
METHOD OF PURIFYING NITROGEN TRIFLUORIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03275507(A) |
申请公布日期 |
1991.12.06 |
| 申请号 |
JP19900073278 |
申请日期 |
1990.03.26 |
| 申请人 |
MITSUI TOATSU CHEM INC |
发明人 |
IWANAGA TOKUYUKI;NISHITSUJI TOSHIHIKO;ARITSUKA MAKOTO |
| 分类号 |
C01B21/083;B01J20/10;C01B21/22 |
主分类号 |
C01B21/083 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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