发明名称 INSPECTION OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH03276660(A) 申请公布日期 1991.12.06
申请号 JP19900076323 申请日期 1990.03.26
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OKI HISANORI
分类号 H01L21/301;H01L21/66;H01L21/78 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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