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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03276755(A) 申请公布日期 1991.12.06
申请号 JP19900078104 申请日期 1990.03.27
申请人 NEC CORP 发明人 TOMIJIMA YASUSHI
分类号 H01L21/768;H01L21/28;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/43 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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