| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR SUPPLYING MATERIAL OF VAPOR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03274263(A) |
申请公布日期 |
1991.12.05 |
| 申请号 |
JP19900075218 |
申请日期 |
1990.03.22 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
INOUE ISAMU;AKUTAGAWA RYUTARO;SHINTAKU HIDENOBU;KODAMA KAYOKO |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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