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发明名称 FORMATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03274720(A) 申请公布日期 1991.12.05
申请号 JP19900075121 申请日期 1990.03.23
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MATSUOKA TAKASHI;OKU YUUKI
分类号 H01L21/266;H01L21/027;H01L21/316 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
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