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发明名称 IRRADIATION DEVICE OF CHARGED PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号 JPH03274499(A) 申请公布日期 1991.12.05
申请号 JP19900076164 申请日期 1990.03.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NISHIHARA SUSUMU
分类号 G21K5/04 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
主权项
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