发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03274730(A) 申请公布日期 1991.12.05
申请号 JP19900073330 申请日期 1990.03.26
申请人 HITACHI DENSHI LTD 发明人 ITO RYOICHI
分类号 H01L21/76;H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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