| 发明名称 |
DEVICE FOR FORMING THIN FILM UTILIZING ORGANOMETALLIC GAS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03274275(A) |
申请公布日期 |
1991.12.05 |
| 申请号 |
JP19900076169 |
申请日期 |
1990.03.26 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KUSAKABE YOSHIHIKO;ONISHI HIROSHI;KOBAYASHI MINORU |
| 分类号 |
C23C16/18;C23C16/44;C23C16/46;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/18 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
