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发明名称 GAS-DUENNSCHICHTSENSORANORDNUNG
摘要
申请公布号 DD296556(A5) 申请公布日期 1991.12.05
申请号 DD19900342761 申请日期 1990.07.13
申请人 TECHNISCHE UNIVERSITAET -PATENTSTELLE-,DE 发明人 TSCHIRCH,STEFFEN,DE;MUELLER,MICHAEL,DE;HAMANN,CLAUS,DE
分类号 G01N27/407;H01L47/00;(IPC1-7):G01N27/407 主分类号 G01N27/407
代理机构 代理人
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