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发明名称 EINRICHTUNG ZUR IONENBEHANDLUNG VON SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DD296509(A5) 申请公布日期 1991.12.05
申请号 DD19900342506 申请日期 1990.07.05
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM MANFRED VON ARDENNE,DE 发明人 HEISIG,ULLRICH,DE;KORNDOERFER,CHRISTIAN,DE;RUMBERG,HEINZ,DE;GOTTFRIED,CHRISTIAN,DE;KAUFMANN,STEFFEN,DE
分类号 C23C14/48;(IPC1-7):C23C14/48 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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