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发明名称 REDUCTION-TYPE X-RAY LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 JPH03274717(A) 申请公布日期 1991.12.05
申请号 JP19900074443 申请日期 1990.03.23
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 MORIGAMI MITSUAKI;FUJIWARA HIDEJI;SUZUKI SHIGEO
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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