发明名称 BONDING METHOD OF SEMICONDUCTOR CHIP TO FILM CARRIER
摘要
申请公布号 JPH03273656(A) 申请公布日期 1991.12.04
申请号 JP19900074968 申请日期 1990.03.22
申请人 ROHM CO LTD 发明人 HIRAI MINORU
分类号 H01L21/60;H01L21/66 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址
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