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发明名称 ETCHING APPARATUS FOR ALUMINUM ALLOY FILM
摘要
申请公布号 JPH03273626(A) 申请公布日期 1991.12.04
申请号 JP19900073787 申请日期 1990.03.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 DOMAE SHINICHI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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