发明名称 GATE-ELECTRODE FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH03273622(A) 申请公布日期 1991.12.04
申请号 JP19900075040 申请日期 1990.03.22
申请人 NEC CORP 发明人 TOKUNAGA KAZUNAO
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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