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发明名称 VERTICAL HEAT TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03273619(A) 申请公布日期 1991.12.04
申请号 JP19900073666 申请日期 1990.03.23
申请人 TOKYO ELECTRON SAGAMI LTD 发明人 KOBAYASHI JUNICHI
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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