| 发明名称 |
MANUFACTURING EQUIPMENT OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03272590(A) |
申请公布日期 |
1991.12.04 |
| 申请号 |
JP19900072612 |
申请日期 |
1990.03.22 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
KANEDA HIROSHI;KOBAYASHI MASANORI;YAMAZAKI TAKESHI |
| 分类号 |
H05B3/14;C23C16/32;F27B17/00;F27D11/02;H01L21/205;H05B3/64 |
主分类号 |
H05B3/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
