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发明名称
DRIVE CONTROL SYSTEM FOR PIEZOELECTRIC BODY OF PROBE SCANNING TYPE MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPH03272403(A)
申请公布日期
1991.12.04
申请号
JP19900072877
申请日期
1990.03.22
申请人
JEOL LTD
发明人
UOZUMI KIYOHIKO
分类号
G01B7/34;G01N23/00;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q10/06;G01Q60/10;H01J37/28
主分类号
G01B7/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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