Displacement sensor with optical transducer.

摘要

Eine Vorrichtung zur Bestimmung von Bewegungsgrößen, wie Lageänderung oder Beschleunigung eines Objektes, weist ein mit einer Masse behaftetes Element (16) auf, welches sich relativ zum Bezugssystem der Vorrichtung bewegen kann und selbstätig in eine Neutrallage rückkehren kann. Das mit der Masse in fester Verbindung stehende Element (16) weist eine Abtastfläche (16a) mit einer optisch erfaßbaren Struktur (9) auf. Die Abtastfläche hat eine derartige Gestalt, daß sich für jede Auslenkung derselben der jeweils von einem optischen Abtastsystem ( 12) abgetastete Abtastflächenbereich innerhalb eines vom optischen Abtastsystem vorgebenen fokussierten Bereiches befindet. <IMAGE>