| 发明名称 |
METHOD FOR MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03271189(A) |
申请公布日期 |
1991.12.03 |
| 申请号 |
JP19900068184 |
申请日期 |
1990.03.20 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD;HASEGAWA FUMIO |
发明人 |
HASEGAWA FUMIO;KATAYAMA KOJI |
| 分类号 |
C30B23/08;C30B29/40;H01L21/203 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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