MICROWAVE-PLASMA FILM FORMING DEVICE,申请号JP19900069624-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	MICROWAVE-PLASMA FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH03271364(A)	申请公布日期	1991.12.03
申请号	JP19900069624	申请日期	1990.03.22
申请人	HITACHI LTD	发明人	WATANABE KUNIHIKO;TANAKA MASAHIRO;TODOROKI SATORU;NAKATANI MITSUO
分类号	C23C14/22;C23C14/54	主分类号	C23C14/22
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