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发明名称 METHOD FOR FORMING OXIDE THIN FILM USING EXCIMER LASER
摘要
申请公布号 JPH03271372(A) 申请公布日期 1991.12.03
申请号 JP19900069832 申请日期 1990.03.22
申请人 EBARA RES CO LTD 发明人 KINOSHITA KAZUO
分类号 C23C16/40;C23C16/48;H01L21/316 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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