| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING SILICON-BASED THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03271197(A) |
申请公布日期 |
1991.12.03 |
| 申请号 |
JP19900068965 |
申请日期 |
1990.03.19 |
| 申请人 |
KOJUNDO CHEM LAB CO LTD |
发明人 |
HOCHIDO YUKO;FUTAKI TAKEHIKO |
| 分类号 |
C30B29/06;C23C14/06;C23C14/10;C23C14/14;C30B29/18;C30B29/36;C30B29/38;H01L21/203 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
