| 发明名称 |
APPARATUS FOR PULLING UP SILICON SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03271198(A) |
申请公布日期 |
1991.12.03 |
| 申请号 |
JP19900070889 |
申请日期 |
1990.03.20 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
SEKI HIDETOSHI |
| 分类号 |
C30B15/00;C30B15/10;C30B29/06;C30B35/00 |
主分类号 |
C30B15/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
