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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03270011(A) 申请公布日期 1991.12.02
申请号 JP19900069150 申请日期 1990.03.19
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 OKUDA SHOJI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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