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发明名称 ION IMPLANTATION METHOD AND ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03269941(A) 申请公布日期 1991.12.02
申请号 JP19900068876 申请日期 1990.03.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 FUJIWARA KAZUO
分类号 H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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