发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH03270155(A) 申请公布日期 1991.12.02
申请号 JP19900070701 申请日期 1990.03.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUZUKI WAN;YAMAKI SHUNICHI
分类号 H01L21/76;H01L21/8234;H01L27/08;H01L27/088 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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