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发明名称 MOLECULAR BEAM CELL OF MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03270125(A) 申请公布日期 1991.12.02
申请号 JP19900069986 申请日期 1990.03.20
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 NISHIYAMA NAOKI
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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