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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03270013(A) 申请公布日期 1991.12.02
申请号 JP19900071467 申请日期 1990.03.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIMIZU NORIYOSHI;NAKAMURA TOMOJI
分类号 H01L21/324;H01L21/203 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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