发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03270066(A) 申请公布日期 1991.12.02
申请号 JP19900068042 申请日期 1990.03.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUJIOKA HIROSHI
分类号 H01L29/78;H01L21/8238;H01L27/00;H01L27/092;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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