| 发明名称 |
PROCEDE D'ELIMINATION D'HYDRURES GAZEUX SUR SUPPORT SOLIDE A BASE D'OXYDES METALLIQUES. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2652280(B1) |
申请公布日期 |
1991.11.29 |
| 申请号 |
FR19890012448 |
申请日期 |
1989.09.22 |
| 申请人 |
AIR LIQUIDE |
发明人 |
DELOBEL OLIVIER;LOUISE JEAN;CORNUT PHILIPPE |
| 分类号 |
B01D53/86;B01J23/86;C01B6/06;H01L21/304;(IPC1-7):B01D53/34;B01J23/26;B01J23/72;H01L21/00 |
主分类号 |
B01D53/86 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
