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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03268361(A) 申请公布日期 1991.11.29
申请号 JP19900067565 申请日期 1990.03.16
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KOSHIHISA KAZUTOSHI
分类号 H01L21/3213;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
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