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发明名称 OPTICAL BEAM POSITION DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH03269311(A) 申请公布日期 1991.11.29
申请号 JP19900068480 申请日期 1990.03.20
申请人 COPAL ELECTRON CO LTD 发明人 TASHIRO KATSU;SUGIZAKI IWAO;WAKASHIMA RIE
分类号 G01B11/00;G01B11/26 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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