发明名称 IRRADIATION OPTICAL SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH03269343(A) 申请公布日期 1991.11.29
申请号 JP19900070782 申请日期 1990.03.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 SATO MANABU;TANAKA TOMOYUKI;SHIMADA SATOSHI;OYAMA SHINJI;KUWABARA KAZUHIRO;KANEKO NORIO
分类号 G01N15/14 主分类号 G01N15/14
代理机构 代理人
主权项
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