发明名称 INSPECTING DEVICE FOR INTEGRATED CIRCUIT COMPONENT
摘要
申请公布号 JPH03269270(A) 申请公布日期 1991.11.29
申请号 JP19900067256 申请日期 1990.03.19
申请人 JAPAN SYNTHETIC RUBBER CO LTD 发明人 KIMURA KIYOSHI;OGURO HISASHI
分类号 G01R31/00;G01R31/26 主分类号 G01R31/00
代理机构 代理人
主权项
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