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发明名称 VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG DUENNER SCHICHTEN MITTELS LASERIMPULS-GASPHASENABSCHEIDUNG (LPVD)
摘要
申请公布号 DD296383(A5) 申请公布日期 1991.11.28
申请号 DD19900342456 申请日期 1990.07.03
申请人 AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DE 发明人 MAI,HERMANN,DE;DIETSCH,REINER,DE;SCHUBERT,KLAUS,DE
分类号 H01L21/203;H05H7/10;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
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